Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Fabrication of nanoscale electrostatic lenses
Chalmers University of Technology, Göteborg.
Chalmers University of Technology, Göteborg.
C2V, 7500AH Enschede, The Netherlands.
MESA+Institute, Enschede, The Netherlands.
Visa övriga samt affilieringar
2010 (Engelska)Ingår i: Journal of Micromechanics and Microengineering, ISSN 0960-1317, E-ISSN 1361-6439, Vol. 20, nr 9, s. 095031-1-095031-7Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The fabrication of cylindrical multi-element electrostatic lenses at the nanoscale presents a challenge; they are high-aspect-ratio structures that should be rotationally symmetric, well aligned and freestanding, with smooth edges and flat, clean surfaces. In this paper, we present the fabrication results of a non-conventional process, which uses a combination of focused gallium ion-beam milling and hydrofluoric acid vapor etching. This process makes it possible to fabricate nanoscale electrostatic lenses down to 140 nm in aperture diameter and 4.2 µm in column length, with a superior control of the geometry as compared to conventional lithography-based techniques

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Philadelphia: Institute of Physics (IOP), 2010. Vol. 20, nr 9, s. 095031-1-095031-7
Nationell ämneskategori
Fysik
Forskningsämne
Fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kau:diva-15932DOI: 10.1088/0960-1317/20/9/095031ISI: 000281398800031OAI: oai:DiVA.org:kau-15932DiVA, id: diva2:573153
Tillgänglig från: 2012-11-29 Skapad: 2012-11-29 Senast uppdaterad: 2017-12-07Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltexthttp://iopscience.iop.org/0960-1317/20/9/095031/pdf/0960-1317_20_9_095031.pdf

Personposter BETA

Svensson, Krister

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Svensson, Krister
Av organisationen
Avdelningen för fysik och elektroteknik
I samma tidskrift
Journal of Micromechanics and Microengineering
Fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 182 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf